一种高灵敏度微型皮拉尼计

摘要

本发明公开了一种基于正、负电阻温度系数的高灵敏度微型皮拉尼计的结构及制作方法，属于微电子机械系统领域。其结构特征在于微型皮拉尼计采用两个正电阻温度系数加热器(1)作为惠斯通全桥电路一对对边，两个负电阻温度系数加热器(2)作为另一对对边。微型皮拉尼计工作时，在惠斯通电桥的一对对边加载恒定直流电压，正电阻温度系数加热器(1)和负电阻温度系数加热器(2)温度升高，阻值分别增加和下降。腔体内真空度不同，阻值变化量不同，从惠斯通电桥另一对角输出的电压也相应发生改变，通过测量惠斯通电桥的输出电压可反映出封装腔体内的真空度。本发明所涉及的微型皮拉尼计有以下优点：测量灵敏度高，可检测的最小压力和漏率低。