ACCELEROMETERS; ELECTRON TUNNELING; MINIATURIZATION; SENSITIVITY; Electron-Tunneling Accelerometer;
机译:微型,高灵敏度电子隧道加速仪
机译:具有双模调制系统的高灵敏度光学MEMS加速度计的提案
机译:与3D CMOS兼容的表面微加工工艺中的平面内高灵敏度电容式加速度计
机译:微型,高灵敏度电子隧穿加速度计
机译:使用电子隧道式冰箱冷却电子,膜和传感器。
机译:结构健康监测同步高灵敏度无线加速度计
机译:开发用于结构健康监测的高灵敏度无线加速度计
机译:微型,高灵敏度,电子隧道加速度计