高灵敏度电子隧道加速度计研究

摘要

基于隧道效应的高灵敏度加速度计,在MEMS领域中具有其他加速度计不可比拟的特点和优点;本文讲述了电子隧道传感器的工作原理.目前我们作出的隧道传感器的分辨率可达10<'-3>□/(Hz)/2.介绍了隧道效应的加速度计的设计和器件制作的工艺流程.实验分析了反应离子刻蚀(RIE)和EPW湿法腐蚀制作的隧道硅尖;对硅-玻璃静电键合工艺进行了研究.制作出了隧道加速度计样品.