基于溶胶-凝胶法和电射流沉积法的复合型PZT压电膜的制备方法

摘要

本发明属于微机电系统技术领域，提供了基于溶胶‑凝胶法和电射流沉积法的复合型PZT压电膜的制备方法。本发明制备的复合型PZT压电膜膜厚可达几至上百微米，且与传统单一电射流沉积法制备的PZT压电膜相比，复合型PZT压电膜微孔隙缺陷减少，晶体择优取向度提高，与上下电极结合条件良好，压电性和铁电性等性能有明显提升。