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用于真空蒸发源的加热器及绝缘体组件

摘要

本发明的主要技术课题是提供一种容易组装并且能缩短组装时间、防止热线短路(short circuit)的用于真空蒸发源的加热器及绝缘体组件。为此,本发明的用于真空蒸发源的加热器及绝缘体组件包括:热线,包括复数个直线部与复数个弯曲部,所述复数个直线部中的两个直线部各自连接到所述各个弯曲部的两端;一个以上的第一绝缘体,设有让所述各个弯曲部和所述两个直线部一起插入并且所述两个直线部互相相对地配置的各个插槽;及一个以上的第二绝缘体,把所述互相相对的两个直线部之间予以隔离。

著录项

  • 公开/公告号CN111713178A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-09-25

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 艾尔法普拉斯株式会社;

    申请/专利号CN201880089175.0

  • 发明设计人 朴星东;权映夏;文一权;车守荣;

    申请日2018-12-12

  • 分类号H05B3/46(20060101);H05B3/06(20060101);C23C14/26(20060101);

  • 代理机构11204 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司;

  • 代理人王达佐;王艳春

  • 地址 韩国忠清南道

  • 入库时间 2023-06-19 08:22:20

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-08-23

    授权

    发明专利权授予

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