三源真空蒸发沉积C_uI_nSe_2薄膜

摘要

用三源真空蒸发沉积C_uI_nSe_2薄膜,通过调节三源的配方,控制薄膜的化学计量比,对薄膜的组份,结构和表面形貌及热处理的影响进行研究。