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在Si基底上真空蒸发沉积Ag-MgF2复合薄膜的内应力研究

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摘要

报道了用电子薄膜应力分布测试仪测量了不同温度、不同厚度的Ag-MgF2复合薄膜的内应力变化情况,得到了基底温度(退火温度)在300～400℃范围内薄膜平均应力最小,且处于张应力向压应力转变区域.XRD分析表明,在Ag-MgF2复合薄膜中Ag对复合薄膜内应力的影响大于MgF2.

著录项

来源
《功能材料》 |2003年第4期|461-463|共3页
作者
李爱侠; 孙大明; 孙兆奇; 宋学萍; 赵宗彦; 刘艳美;
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作者单位

安徽大学,物理系,安徽,合肥,230039;

安徽大学,物理系,安徽,合肥,230039;

安徽大学,物理系,安徽,合肥,230039;

安徽大学,物理系,安徽,合肥,230039;

安徽大学,物理系,安徽,合肥,230039;

安徽大学,物理系,安徽,合肥,230039;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜物理学;
关键词
Ag-MgF2复合薄膜; 内应力; 微结构;

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