利用多个带电粒子子束检查样品的带电粒子束装置

摘要

本发明涉及一种利用多个带电粒子子束检查样品的带电粒子束装置。所述带电粒子束装置包含样品保持器，所述样品保持器用于保持样品；源，所述源用于产生带电粒子束；以及照射器，所述照射器用于将所述带电粒子束转换成多个带电粒子子束并且将所述多个带电粒子子束引导到所述样品上。根据本公开，所述照射器包含多孔透镜板，所述多孔透镜板具有用于限定所述多个带电粒子子束的多个孔；以及至少第一电极，所述至少第一电极用于在所述多孔透镜板的表面处生成电场。所述多孔透镜板中的所述孔具有非圆形横截面形状，以校正相邻的孔引起的像差。这允许减小斑点尺寸，并且由此提高了所述装置的成像分辨率。