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公开/公告号CN111755302A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-10-09
原文格式PDF
申请/专利权人 FEI 公司;
申请/专利号CN202010230636.0
发明设计人 P.赫拉文卡;B.赛达;
申请日2020-03-27
分类号H01J37/05(20060101);H01J37/20(20060101);H01J37/244(20060101);H01J37/28(20060101);
代理机构72001 中国专利代理(香港)有限公司;
代理人张凌苗;闫小龙
地址 美国俄勒冈州
入库时间 2023-06-19 08:30:12
机译: 一种用于使用初级带电粒子束的阵列,带电粒子束装置的用于检查样品的方法,用于使用初级带电粒子束的阵列和用于检查样品的多柱显微镜检查样品
机译: 一种使用一次带电粒子细束的阵列检查样品的方法,一种使用一次带电粒子细束的阵列检查样品的带电粒子束装置以及一种用于检查样品的多柱显微镜
机译: 带电粒子束装置,用于检查具有多个带电粒子束的样品
机译:带有多个检测器的带电粒子束装置和用于成像的方法
机译:用于在质谱仪中运输带电粒子束的离子光学装置的合成
机译:用于任意几何形状的衍射辐射的精确理论和用于无损束诊断的带电粒子束的超辐射
机译:用于控制带电粒子束结构的装置
机译:用于操纵带电粒子束的太赫兹辐射源的发展
机译:六个顺序带电粒子束对B6D2F1女性和雄性小鼠的行为和认知性能的影响
机译:运输:用于设计带电粒子束传输系统的计算机程序(Rev.2)(由Slac-R-462取代)
机译:用于测量带电粒子束的装置