光学测量设备和用于测量工件翘曲的方法

摘要

本发明涉及光学测量设备和用于测量工件翘曲的方法，所述光学测量设备包含调整设备和至少两个图像捕获装置。所述图像捕获装置具有景深并且附接到所述调整设备。通过所述调整设备调整所述图像捕获装置，以使得工件的待测量部分位于所述图像捕获装置的所述景深内。