微米级三维形貌测量研究及其在微电子器件翘曲变形测量中的应用

摘要

将高密度规则光栅投射于物体表面，利用栅线的扭曲变化可以测量物体表面的翘曲变形。为了提高这一方法的测量灵敏度，本文采用亚象素检测技术确定栅线的畸变量，并通过提高图象采集质量、降低图象噪声来获得高信噪比的数字图象，从而达到了提高亚象素分辨能力的目的。该技术用于微电子器件翘曲变形测量，在50mm×50mm的测量区域内可以获得微米级测量精度。