公开/公告号CN112063984A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-12-11
原文格式PDF
申请/专利权人 重庆大学;
申请/专利号CN202010897689.8
申请日2020-08-31
分类号C23C14/35(20060101);C23C14/06(20060101);C23C14/02(20060101);H01B17/60(20060101);
代理机构11228 北京汇泽知识产权代理有限公司;
代理人武君
地址 400044 重庆市沙坪坝区正街174号
入库时间 2023-06-19 08:03:25
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-07-28
授权
发明专利权授予
机译: 含氮非晶碳型薄膜,非晶碳型层合薄膜和滑动构件
机译: 非晶碳薄膜及其形成方法,以及使用非晶碳薄膜的半导体器件
机译: 掺杂非晶碳对氟化碳(CFX)薄膜的粘附性