一种臭氧气敏传感器阵列的制备方法

摘要

本发明为一种臭氧气敏传感器阵列的制备方法。一种臭氧气敏传感器阵列的制备方法，包括：(1)制备改性剂溶液；(2)制备碳纳米管分散液；(3)将碳纳米管分散液静置、离心，得沉淀物；(4)将沉淀物与水混合后，涂覆到叉指电极上并干燥，得传感芯片；将传感芯片制作成传感器，得传感器1；(5)重复步骤(1)‑(4)5次，得传感器2‑6；(6)将传感器1‑6通电老化后，组成传感器阵列，得所述臭氧气敏传感器阵列。本发明所述的一种臭氧气敏传感器阵列的制备方法，利用多种小分子改性剂对羰基多壁碳纳米管进行物理修饰，进而制备出了碳纳米管基的传感器阵列，实现了在室温下对臭氧及其常见干扰物的高灵敏度、识别检测。