一种多级利用氟化剂生产氟化碳材料的系统及生产方法

摘要

本发明公开了一种多级利用氟化剂生产氟化碳材料的系统及生产方法。所述的多级利用氟化剂的氟化碳材料生产系统，包括一级以上的流化床系统，所述的流化床系统包括流化床反应器和气固分离器，流化床反应器的尾气出口与气固分离器连接，气固分离器出气口分别与尾气处理系统、回收气处理装置连接，回收气处理装置和氟化剂/稀释气配气系统都与流化床反应器底部的进气口连接。本发明对反应后期高浓度的氟化剂进行回收利用，实现氟化剂资源的综合利用。