一种多级利用氟化剂生产氟化碳材料的系统

摘要

本实用新型公开了一种多级利用氟化剂生产氟化碳材料的系统。所述的多级利用氟化剂的氟化碳材料生产系统，包括一级以上的流化床系统，所述的流化床系统包括流化床反应器和气固分离器，流化床反应器的尾气出口与气固分离器连接，气固分离器出气口分别与尾气处理系统、回收气处理装置连接，回收气处理装置和氟化剂/稀释气配气系统都与流化床反应器底部的进气口连接。本实用新型对反应后期高浓度的氟化剂进行回收利用，实现氟化剂资源的综合利用。