一种单晶圆清洗设备用试剂可控旋转喷雾装置

摘要

本发明公开了一种单晶圆清洗设备用试剂可控旋转喷雾装置，本发明包括壳体、水箱和喷雾机构，壳体内部的上方位置上安装有水箱，水箱的出水口通过导水管与喷雾机构之间密封连接，喷雾机构包括传动架、丝杆、料筒、控量箱、电机A、电机B和安装板，控量箱安装在水箱的下方位置上，控量箱的下方位置上安装有传动架，传动架内部的左端安装有电机A，电机A的输出轴通过联轴器与丝杆一端转动连接，丝杆另一端与传动架右端的轴承架之间转动连接。本发明通过设置喷雾机构，解决了现有技术对试剂的喷洒不均匀以及在喷洒过程中不能根据加工工艺进行定量喷雾的问题。