大日本スクリーン，高性能の枚葉式ウエハー洗浄装置を発売

摘要

大日本スクリーン製造は毎時800枚という高速洗浄能力と高い安定性をもつプロセス性能の両立により，世界最高の生産性を実現したスクラバー方式の枚要式ウエハー洗浄装置「SS－3200」を開発，次世代半導体の製造ニーズに対応する同装置を2011年12月から販売を開始した。八っのチャンバー構成によるコンパクト設計で，半導体デバイスの超微細化や立体構造にも対応している。