基于柔性衬底的ZnO复合透明导电薄膜及其制备方法

摘要

本发明涉及导电薄膜材料领域，提供了一种基于柔性衬底的ZnO复合透明导电薄膜及其制备方法；该薄膜首先以柔性PET为衬底，采用磁控溅射法在柔性PET衬底上分别溅射底层ZnO、由金属Al和金属Cu组成的中间金属层、顶层ZnO，最终获得基于柔性衬底的ZnO复合透明导电薄膜；本发明中所制备的基于柔性衬底的ZnO复合透明导电薄膜在保证高透光率和导电性的同时，原料价格大幅降低且更易获取；制备方法具有工艺制备简单、可控性好，对设备操作要求较低的优点，可以实现工业大面积应用推广。