公开/公告号CN108780738A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-11-09
原文格式PDF
申请/专利权人 东京毅力科创株式会社;
申请/专利号CN201780013040.1
申请日2017-01-25
分类号
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司;
代理人唐京桥
地址 日本东京都
入库时间 2023-06-19 07:08:01
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-01-29
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/027 申请日:20170125
实质审查的生效
2018-11-09
公开
公开
机译: 满足线边缘粗糙度和其他集成目的的等离子处理方法
机译: 满足线边缘粗糙度和其他集成目标的等离子体处理方法
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