一种压电非均匀折叠梁驱动的MOEMS扫描光栅微镜

摘要

一种压电非均匀折叠梁驱动的MOEMS扫描光栅微镜，由光栅、微镜、扭转梁、压电非均匀折叠梁微驱动器、角传感器和固定框架组成。微镜通过扭转梁悬置于固定框架上使其绕扭转梁转动而限制其他方向的平动，并结合在微镜背部掏蚀凹槽，提高系统稳定性且避免镜面变形。微驱动器采用非均匀折叠梁结构和其上压电层长度占每折梁长度一半的优化布局，可在低功耗、低驱动电压下使微镜实现最大角度分光扫描；在四个微驱动器的最外侧梁靠近扭转梁一端一体化集成大面积压电角传感器，采用差分输出方式可使无需后端放大电路即有高线性度、伏量级的较强传感信号输出，实时监测微镜扫描角度。本发明结构简单，集成工艺兼容，能批量生产，可广泛应用于微型光谱仪中。