MOEMS光开关中一种新的微镜驱动方式

摘要

本文提出一种新的微镜静电驱动方法,即双极脉宽调制(BPWM)+镜片闭环控制方式。首先介绍了MOEMS光开关实现方案及PWM驱动方式概述。重点阐述了双极脉宽调制(BPWM)+镜片闭环控制方式的实现方法,并比较了与通常的D/A+高压运放方式的优势所在,提高了镜片的倾斜精度,用镜片闭环控制方式解决了可靠性的问题。