首页> 中文期刊>高技术通讯 >MOEMS阵列光开关的微反射镜的制作

MOEMS阵列光开关的微反射镜的制作

     

摘要

通过各向异性湿法腐蚀工艺利用(110)硅片制作了8×8阵列光开关的微反射镜阵列,反射镜面为{111}面,表面粗糙度低于10nm, 垂直度好于用同样的方法在(100)硅片上制作的反射镜.

著录项

  • 来源
    《高技术通讯》|2005年第3期|53-55|共3页
  • 作者单位

    吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室,长春,130012;

    中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,长春,130022;

    吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室,长春,130012;

    吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室,长春,130012;

    吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室,长春,130012;

    吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室,长春,130012;

    吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室,长春,130012;

    吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室,长春,130012;

    中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,长春,130022;

    吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室,长春,130012;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 集成光学器件;
  • 关键词

    光开关,(110)硅片,微反射镜;

相似文献

  • 中文文献
  • 外文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号