基于MOEMS无阻塞16×16阵列光开关研制成功

摘要

近日，国家“863”专家组在北京主持召开了“基于微光电子机械系统(MOEMS)无阻塞16×16阵列光开关”项目验收会，该项目是由上海光学精密机械研究所信息光学实验室和上海交通大学微纳米技术研究院联合承担的。