一种基于直波导全反射耦合连接的微结构片上光源装置及其制作方法

摘要

本发明涉及光电子器件设计技术领域，尤其涉及一种基于直波导全反射耦合连接的微结构片上光源装置及其制作方法，其不同之处在于：所述装置包括基底，用于承载功能器件及电流注入，所述基底包括由下至上依次设置的下金属层、衬底材料层、绝缘层、上金属层；直波导互连腔，用于形成激光振荡，所述直波导互连腔设于衬底材料层上，其包括四个直角互连的长条形直波导腔体分段，相邻两个直波导腔体分段接合处外侧面设有全反射镜面，其中一个直波导腔体分段上排布有周期微结构；输出波导段，所述输出波导段设于衬底材料层上且其一端连接于其中一个直波导腔体分段的端部。本发明可实现低损耗环路振荡，且功率可调。