自适应雷达比相法固支梁微纳微波检测和解调单片系统

摘要

本发明的自适应雷达比相法固支梁微纳微波检测和解调单片系统，主要由六端口固支梁耦合器，微波频率检测模块，微波相位检测模块以及微波功率检测和解调模块四部分组成；自适应雷达由天线、收发转换电路、MEMS微波检测和解调单片集成系统、信号存储器、信号分析器、微波信号重构、微波信号调制器和微波信号功率放大器构成。间接加热式微波功率传感器采用多晶硅纳米线簇构成热电偶臂，热导率低于传统体材料，具有热电转化效率高的优点，可以大大提高微波检测系统的灵敏度，能够完成对微波信号进行功率、频率、相位的同时同步检测以及对已调制信号的解调，实现了自适应雷达比相法固支梁微纳微波检测和解调单片系统。