机电耦合下两端固支微梁的静态分析

摘要

在微机电系统中，静电驱动两端固支微梁常作为驱动结构，因此对微梁结构的静态分析研究具有重要意义。采用ANASYS中直接耦合法Trans126降阶单元，建立微梁的机电耦合模型，分析几何结构参数与其最大挠度的关系，进一步揭示在微机电结构中微梁抗弯刚度与其厚度的关系。