一种金刚线切割多晶硅片制绒抛光调控剂

摘要

本发明提供一种金刚线切割多晶硅片制绒抛光调控剂，包括如下组分及其质量百分比：分散剂0.1％‑1％、碱性物质0.1％‑1％、润湿剂0.005％‑0.1％、鳌合剂0.05％‑0.5％、抗再沉淀剂0.1％‑1％、余量为去离子水，各物质混合后搅拌即得成品。本发明产品在多晶硅片制绒抛光过程中能调节碱与硅的反应，去除多晶硅片表面油污和损伤层，形成硅片微凸起结构，不仅具有良好的渗透作用，而且还具有乳化、抑泡、无浊点等功能；且生产工艺简单，原料廉价易得，不含对环境有害物质，是一种绿色环保产品。