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金刚线切割多晶硅片制绒调控剂及含该调控剂的制绒剂

摘要

本发明公开了一种金刚线切割多晶硅片制绒调控剂,按质量百分计包括以下组分:成膜剂0.01%‑1%、酸性物质0.01%‑1%、润湿剂0.1%‑1%,余量为去离子水。本发明还公开了一种包含该制绒调控剂的制绒剂。本发明的调控剂应用于制绒剂中,在金刚线切割多晶硅片进行制绒的过程中,能够调节其中的酸与硅的反应,形成硅片微孔结构,使得多晶硅片不仅具有分布均匀的微孔结构,而且微孔大小均一,没有连孔、深孔,形成的这种结构可以降低对光的反射率,提高对光的吸收率;且该调控剂的配制工艺简单,原料廉价易得,不含对环境有害的物质,是一种绿色环保产品。

著录项

  • 公开/公告号CN110137079B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-08-13

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 苏州晶瑞化学股份有限公司;

    申请/专利号CN201910431058.4

  • 发明设计人 金炳生;陈浩;高小云;刘兵;

    申请日2019-05-22

  • 分类号H01L21/306(20060101);H01L31/20(20060101);

  • 代理机构32293 苏州国诚专利代理有限公司;

  • 代理人王丽

  • 地址 215000 江苏省苏州市吴中开发区善丰路168号

  • 入库时间 2022-08-23 12:18:17

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