用于沉积保形的金属或准金属氮化硅膜的方法

摘要

本文描述了用于形成保形的第4、5、6、13族金属或准金属掺杂的氮化硅膜的方法。在一个方面，提供了形成氮化铝硅膜的方法，其包括以下步骤：在反应器中提供衬底；将至少一种铝前体引入反应器中，所述至少一种铝前体在所述衬底的表面的至少一部分上反应以提供化学吸附层；用吹扫气体吹扫反应器；将有机氨基硅烷前体引入反应器中以在所述衬底的表面的至少一部分上反应以提供化学吸附层；将氮源和惰性气体引入反应器中以与所述化学吸附层的至少一部分反应；和任选地用惰性气体吹扫所述反应器；并且其中重复所述步骤直到获得期望厚度的所述氮化铝膜。