基于双通道正交锁相解调的光学非线性误差测量方法及装置

摘要

基于双通道正交锁相解调的光学非线性误差测量方法及装置属于激光测量领域，本发明将外差激光干涉仪的两路输出信号分别接入可编程逻辑器件，利用可编程逻辑器件内部产生的信号作为正交锁相的参考信号，并通过两次正交混频进行非线性误差位相解调。本发明适用于实时测量外差激光干涉系统的光学非线性误差，不受被测物体运动状态限制，测量精度在皮米量级；并且利用两次正交混频代替了反正切算法，提高了算法效率。