倾斜波面干涉测量非球面中的参数确定方法

摘要

本发明属于光学精密测试领域，具体涉及一种倾斜波面干涉测量非球面中的参数确定方法。包括如下步骤：首先根据给定的非球面方程和口径，按角度等间隔划分非球面；然后设定入射球面波的中心，利用公式计算球面波的中心对于每个节点的镜像点；然后以镜像点向对应的节点坐标位置发射光线构成反射波面，根据计算出的反射波面与参考球面波之间的相位差的分布，判断出可测量干涉条纹的分布范围，移动球面波中心的位置，重复前述过程，直到整个非球面的范围都能够被测量，即确定了所有球面波源的位置，完成了点源阵列的设计。本方法的步骤清晰、计算准确、适用范围广，使用计算机程序可以快速完成设计，计算的过程中无须采用近似估计，计算结果准确。