波面梯度及其在干涉测量中的应用研究

摘要

光学系统中光束质量的分析和预测很大程度上取决于对其光学元件质量的精确检测和评价。根据需求的不同，主要的常规的检测参量包括峰谷值PV、均方根偏差RMS、功率谱密度PSD和反映像质的MTF等。各参量具有有一定的适用范围和局限性。从梯度的数学定义出发可得到波前相位梯度的数学式。根据实际的测量发现，以波面梯度作为检测参量有它自身的优势。即能直观地反映光束聚焦特性与光束的波前分布，在精密光学元器件的检测中凸显重要的应用价值。波面梯度与其它常规参量一起构成比较全面的光学元件质量评价指标。