高精度薄膜电阻氢气传感器标校装置及标校方法

摘要

本发明公开了一种高精度薄膜电阻氢气传感器标校装置，包括相互通气连接的气体流量控制器和恒温气氛测试腔以及用于为恒温气氛测试腔控制温度的温度控制器和用于测试输出电阻的电阻仪。本发明公开了一种高精度薄膜电阻氢气传感器标校装置采用的标校方法，包括获取温度特性曲线和获取氢气响应特性曲线。通过本发明可任意调节标准气体浓度值和流量，浓度调节范围宽精度高，标定氢气浓度标校曲线时可以极大降低外界温度干扰以及气体流动对标校的影响，从而确保准确获取传感单元输出电阻和氢气浓度标准值对应关系，便于准确分析薄膜电阻氢气传感器的各项静态指标；通过本发明还可以获取薄膜电阻氢气传感器的温度标校曲线。