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具有集成压电结构的MEMS电路板模块，以及电声换能器装置

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本发明涉及一种用于在可听波长谱中生成和/或检测声波的电声换能器装置(2)的MEMS电路板模块(1)，该MEMS电路板模块(1)包括电路板(4)和多层压电结构(5)，该多层压电结构(5)允许出于此目的而提供的膜(6)振动和/或检测该膜(6)的振动。根据本发明，多层压电结构(5)直接连接到电路板(4)。本发明进一步涉及包括这种类型的MEMS电路板模块(1)的电声换能器装置(2)以及用于制造该MEMS电路板模块(1)和该电声换能器装置(2)的方法。

著录项

公开/公告号CN108141669A

专利类型发明专利
公开/公告日2018-06-08

原文格式PDF
申请/专利权人悠声股份有限公司;
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申请/专利号CN201680057170.0
发明设计人安德里亚·韦斯高尼·克莱里西;费鲁乔·博托尼;
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申请日2016-09-05
分类号H04R7/10(20060101);H04R17/00(20060101);
代理机构31100 上海专利商标事务所有限公司;
代理人唐杰敏;陈斌
地址奥地利格拉茨
入库时间 2023-06-19 05:36:53

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2018-08-17

实质审查的生效 IPC(主分类):H04R7/10 申请日:20160905

实质审查的生效
2018-08-14

著录事项变更 IPC(主分类):H04R7/10 变更前: 变更后: 申请日:20160905

著录事项变更
2018-06-08

公开

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1. 具有集成压电结构的MEMS电路板模块，以及电声换能器装置 [P] . 中国专利： CN108141669A . 2018-06-08
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