具有集成压电结构的MEMS印刷电路板模块和声换能器组装件

摘要

本发明涉及一种用于在可听波长谱中生成和/或检测声波的声换能器组装件(2)的MEMS印刷电路板模块(1)，该MEMS印刷电路板模块(1)具有印刷电路板(4)和多层压电结构(5)，藉由该多层压电结构(5)，出于此目的而提供的膜(6)可被设置成振荡和/或膜(6)的振荡可被检测到。根据本发明，多层压电结构(5)直接连接到印刷电路板(4)。此外，本发明涉及一种具有此类MEMS印刷电路板模块(1)的声换能器组装件(2)，以及一种用于制造该MEMS电路板模块(1)和该声换能器组装件(2)的方法。