压电MEMS超声换能器研究进展

摘要

MEMS(micro-electromechanical systems)超声换能器(MEMS ultrasonic transducer,简称MUT)是采用微电子和微机械加工技来制作的新型超声换能器.与传统超声换能器相比,MUT具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、频率控制灵活、频带宽、灵敏度高以及易于与电路集成和实现智能化等特点.是超声换能器的重要的研究方向之一.MUT的研究主要包括压电MUT(piezoelectric MUT,简称PMUT)和电容MUT(capacitive MUT,简称CMUT)两个方面.本文概述了PMUT研究的发展进程和研究成果,展望了PMUT的研究和应用前景.