具有改善的稳定性和改善的抛光特性的选择性氮化物淤浆

摘要

本发明提供一种化学机械抛光组合物，其包括以下组分、基本上由以下组分组成、或由以下组分组成：(a)约0.01重量％至约1重量％的湿加工氧化铈，(b)约10ppm至约200ppm包含季氨基团的阳离子聚合物，(c)约10ppm至约2000ppm非氟化非离子表面活性剂，(d)氨基酸，和(e)水，其中该抛光组合物具有约3至约8的pH。本发明进一步提供一种使用该抛光组合物抛光基板的方法。