一种气体团簇离子束质谱的测量方法和装置

摘要

本发明提供了一种气体团簇离子束质谱的测量方法，将团簇离子通过静电电容器形成离子束脉冲，将离子束脉冲喷射至与场效应晶体管(FET)源跟随器连接的法拉第杯，利用示波器测量离子束脉冲中不同质量的团簇离子各自产生的信号，利用TOF质谱分析法获得团簇离子的TOF质谱。本发明同时提供了一种基于所述测量方法的气体团簇离子束质谱的测量装置，包括用于接收离子束脉冲的法拉第杯、与法拉第杯连接的场效应晶体管源跟随器和示波器。本发明通过使用场效应晶体管作为源跟随器，以及场效应晶体管和法拉第杯直接相连的特殊设计来减少探测器的时间常数，从而有效提高探测器响应灵敏度，进而提高质谱分辨率，获得完美的离子束质谱。