用于处理待处理的物体的设备和方法和用于其的平台单元

摘要

本发明提供一种用于处理待处理的物体的设备和方法和用于其的平台单元。所述设备包含：腔室，其具有处理待处理的物体用的处理空间；底座，包括一个表面，面对一个表面的另一个表面，以及配置成将所述一个表面连接到所述另一个表面的侧表面；托盘，包含可变固定单元，可变固定单元包括可变固定部件，可变固定部件安装在底座上，以能与待处理的物体的尺寸相对应地变化位置；控制单元，连接到可变固定单元以根据待处理的物体的数据而控制固定部件的移动；以及光照部分，配置成在垂直于待处理的物体的转移方向的垂线上照射光。因此，根据待处理的物体的数据调节多个固定部件的位置以固定待处理的物体，由此容易支撑和处理各种尺寸的主体。