通过固相粘合剂和选择性转移的超薄功能性块的异构集成

摘要

一种方法包含：将装置衬底耦合至载体衬底；对齐装置衬底的部分至主机衬底；将装置衬底的该部分从载体衬底分开；以及在分开装置衬底的该部分之后，将装置衬底的该部分耦合至主机衬底。一种方法包含：利用装置衬底的装置侧和载体衬底之间的粘合剂将装置衬底耦合至载体衬底；在将装置衬底耦合至载体衬底之后，使装置衬底变薄；对齐变薄的装置衬底的部分至主机衬底；将装置衬底的该部分从载体衬底分开；以及将装置衬底的该分开部分耦合至主机衬底。一种设备包含在堆叠布置中耦合至主机衬底的包含亚微米厚度和装置层的衬底。