一种基于X射线的LED芯片缺陷自动检测设备及方法

摘要

本发明公开了一种基于X射线的LED芯片缺陷自动检测设备，其具有X射线检测主体及屏蔽壳体；其中，X射线检测主体具有：X射线源，其产生的X射线照射置于载物台上的待检芯片；探测器，其探测穿过待检芯片的X射线；芯片夹具，其以可脱离的形式定位于载物台上，芯片夹具设有若干个芯片槽；运动平台，其被配置为实现载物台在X、Y和Z三方向上的运动；以及控制系统，其被配置为实时获取运动平台的位置坐标，并按一定路径驱动运动平台。本发明还提供了一种基于X射线的LED芯片缺陷自动检测方法。本发明可将隐藏的芯片内部的缺陷呈现在图像当中，并通过对缺陷部分的自动识别和提取，实现LED芯片的快速、无损和自动化批量检测。