基于表面声波的湿度传感器及其制备方法

摘要

本发明提供了一种基于表面声波的湿度传感器及其制造方法，所述湿度传感器包括压电薄膜、叉指电极、反射金属栅以及位于叉指电极区域的用于吸收水分子的敏感材料。在叉指电极加上AC电压时，压电薄膜表面产生表面声波，通过比较吸收水分前后的表面声波的谐振频率变化，可以获得水分子的浓度。相比于现有的体声波为MHz数量级，本发明的压电薄膜表面声波的频率可高于1GHz，使得吸收水分后谐振频率的变化值较大，从而大大提高湿度传感器的灵敏度。另外，表面声波可以通过反射金属栅反射加强，以进一步提高湿度传感器的灵敏度。本发明结构及制备方法简单，在传感器设计及制备领域具有广泛的应用前景。