机译:基于表面声波和氧化石墨烯的AlN / Si层状结构的高性能湿度传感器
Zhejiang Univ State Key Lab Fluid Power & Mechatron Syst Hangzhou 310027 Zhejiang Peoples R China;
Zhejiang Univ Dept Polymer Sci & Engn MOE Key Lab Macromol Synth & Functionalizat Hangzhou 310027 Zhejiang Peoples R China;
Zhejiang Univ Coll Informat Sci & Elect Engn Hangzhou 310027 Zhejiang Peoples R China;
Humidity sensor; Surface acoustic wave; Graphene oxide; AIN thin film; Highly doped Si;
机译:使用氧化石墨烯传感层的快速响应和高灵敏度ZnO /玻璃表面声波湿度传感器
机译:基于涂有溶胶-凝胶法得到的纳米晶氧化锌膜的多晶AlN薄膜的声表面波湿度传感器
机译:均匀石墨烯氧化物膜涂覆表面声波湿度传感器的具体传感机制研究
机译:基于aln表面声波和氧化石墨烯传感层的高灵敏度,低频率频率系数的湿度传感器
机译:基于氧化锌和氧化镁锌锌的多层结构,用于可调声表面波装置。
机译:使用氧化石墨烯传感层的快速响应和高灵敏度ZnO /玻璃表面声波湿度传感器
机译:使用氧化石墨烯传感层的快速响应和高灵敏度ZnO /玻璃表面声波湿度传感器