一种基于ZnSe薄膜/石墨烯异质结的大面积柔性图像传感器的制备方法

摘要

本发明公开了一种基于ZnSe薄膜/石墨烯异质结的大面积柔性图像传感器的制备方法，石墨烯的生长和转移后，利用掩膜板，在石墨烯/PET基底上沉积ZnSe微米带阵列，然后，通过掩模板使用电子束蒸发的方式在ZnSe/石墨烯异质结上沉积Cr/Au作为源级和漏极，最后，在氧等离子体中刻蚀掉暴露出的石墨烯薄膜后，即成功地制备出基于ZnSe薄膜/石墨烯异质结的大面积柔性图像传感器。本方法构筑的ZnSe/石墨烯异质结光探测器阵列具有100%的器件产率；ZnSe/石墨烯异质结光探测器阵列可以被用作柔性图像传感器，而且器件性能的均一性较好；工艺简单，成本低廉，具有较好的实用价值。