公开/公告号CN107130294A
专利类型发明专利
公开/公告日2017-09-05
原文格式PDF
申请/专利号CN201710106146.8
申请日2017-02-24
分类号C30B29/04(20060101);C30B25/02(20060101);C30B25/04(20060101);
代理机构11280 北京泛华伟业知识产权代理有限公司;
代理人王勇;王博
地址 日本东京都
入库时间 2023-06-19 03:14:54
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-02-19
实质审查的生效 IPC(主分类):C30B29/04 申请日:20170224
实质审查的生效
2017-09-05
公开
公开
机译: 外延金刚石膜的基础基板,外延金刚石膜的基础基板的制造方法,由该外延金刚石膜的基础基板制造的外延金刚石膜,以及外延金刚石膜的制造方法
机译: 外延金刚石膜的基底基板,外延金刚石膜的基底基板的制造方法,由该外延金刚石膜的基底基板制造的外延金刚石膜,以及外延金刚石膜的制造方法
机译: 基板及其用于金刚石生长的制造方法,以及使用该基板制造大面积单晶金刚石薄膜和自立膜的方法