公开/公告号CN107112278A
专利类型发明专利
公开/公告日2017-08-29
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN201580068587.2
申请日2015-11-17
分类号H01L21/768(20060101);H01L23/532(20060101);C23C16/30(20060101);C23C16/452(20060101);C23C16/455(20060101);
代理机构31100 上海专利商标事务所有限公司;
代理人侯颖媖
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2023-06-19 03:13:27
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-11-17
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/768 申请日:20151117
实质审查的生效
2017-08-29
公开
公开
机译: 适用于高级互连应用的超薄介电扩散阻挡层和蚀刻停止层
机译: 超薄介电扩散阻挡层和蚀刻停止层,适用于高级互连应用
机译: 适用于高级互连应用的超薄介电扩散阻挡层和蚀刻停止层