公开/公告号US9613908B2
专利类型
公开/公告日2017-04-04
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;
申请/专利号US201514943913
发明设计人 MUKUND SRINIVASAN;ABHIJIT BASU MALLICK;ALEXANDROS T. DEMOS;KELVIN CHAN;DEENESH PADHI;YIHONG CHEN;
申请日2015-11-17
分类号H01L21/00;H01L23/532;H01L21/02;C23C16/30;C23C16/452;C23C16/455;H01L21/768;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:41:35