公开/公告号CN107062817A
专利类型发明专利
公开/公告日2017-08-18
原文格式PDF
申请/专利权人 福建省武夷山市响岩茶业有限公司;
申请/专利号CN201710284192.7
申请日2017-04-26
分类号
代理机构福州元创专利商标代理有限公司;
代理人蔡学俊
地址 354300 福建省南平市武夷山市国家旅游度假区七号路南
入库时间 2023-06-19 03:06:32
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-09-12
实质审查的生效 IPC(主分类):F26B9/02 申请日:20170426
实质审查的生效
2017-08-18
公开
公开
机译: 用于等离子体处理装置的石英构件的工作方法,用于等离子体处理装置的石英构件以及安装有石英构件的等离子体处理装置
机译: 基板的测量工作方法,基板处理装置和基板处理装置。
机译: 放电等离子体处理装置的表面工作方法,应用电极和放电等离子体处理装置