用于在外延生长室中使用的基座及保持晶圆的热传导块

摘要

一种用于在外延生长室中使用的基座包括设计以保持衬底的热传导主体。主体包括第一区域、第二区域以及第三区域。第一区域从主体的外部边缘朝向主体的中央向内延伸第一宽度，第一区域具有第一高度。第二区域从第一区域的内部边缘朝向主体的中央向内延伸第二宽度，第二区域具有比第一高度低的第二高度。第三区域从第二区域的内部边缘延伸至主体的中央。第二区域包括基本上平行于衬底的底部表面的平坦表面，并且衬底的底部表面的一部分安置在平坦表面上。本发明还提供了一种保持晶圆的热传导块。