用作可伸展和可弯曲互连部的键合线的塑形和成环装置及方法

摘要

用于在键合焊盘对之间馈送、弯曲和附接键合线的毛细工具包括主体和加热元件。所述主体具有从所述毛细工具的第一面延伸至所述毛细工具的第二面的内管道。在一些实施例中，所述内管道具有大体上螺旋形状的部分，所述大体上螺旋形状包括围绕所述主体的中心轴线的至少一个完整回转的一部分。所述加热元件连接至所述主体以提供沿着所述内管道的一部分的热影响区，当所述键合线经过所述内管道被馈送时，所述加热元件加热所述键合线。